可変容量電気機械的マイクロキャパシタおよびそのようなマイクロキャパシタの製造方法

Variable capacitance electromechanical micro capacitor and method of manufacturing same

Abstract

【課題】マイクロキャパシタの欠点を改善することと、特に、低い電気的作動電圧で動作し、安定した容量および広い容量変化範囲を与える可変容量電気機械的マイクロキャパシタを提供する。 【解決手段】第1の電極(6)は、基板(4)に固定された支持体にしっかりと取り付けられた両端(2)を有する梁(1)と一体的である。残留応力は、梁のアーチ(10)が少なくとも1個の第2の電極(7)に接近するように、梁の曲げを引き起こす。支持体は、円環(3)の中心を通る固定軸上で円環の両側のそれぞれに配置された2つの固定ベース(5)を用いて基板に固定された円環によって形成され、梁は固定軸に直交する円環の直径上に配置される。円環は固定軸に沿って引張応力を受ける少なくとも1層を含む。梁は梁の長軸に沿って圧縮応力を受ける少なくとも1層を含む。第2の電極は付加的な支持体(8)と一体的であり、梁は基板と第2の電極(7)との間に配置される。 【選択図】図3
PROBLEM TO BE SOLVED: To improve the defect of a micro capacitor and to provide a variable capacitance electromechanical micro capacitor operating at low electric operation voltage and giving stable capacitance and a wide capacitance variation range. SOLUTION: A first electrode (6) is integrated with a joist (1) having both ends (2) attached firmly to a support fixed onto a substrate (4). Residual stress causes the winding of the joist such that the arch (10) of the joist is close at least to a second electrode (7). The support is formed by a circular ring fixed on a substrate using two fixation bases (5) arranged on the both sides of the circular ring on a fixation axis passing through the center of the circular ring (3). The joist is arranged on the diameter of the circular ring orthogonal to a fixation axis. The circular ring comprises at least one layer receiving tensile stress along the fixation axis. The joist comprises at least one layer receiving tensile stress along the long axis of the joist. A second electrode is integrated with an additional support (8). The joist is arranged between the substrate and the second electrode (7). COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

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