Liquid crystal display device and method for manufacturing the same

液晶表示装置およびその製造方法

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent a phenomenon that an interlayer insulating film covering an electrode made of ITO formed on an organic passivation film is separated.SOLUTION: A contact hole 130 for connecting to a video signal line is formed in a top-gate TFT. An inorganic passivation film 108 and an organic passivation film 109 are formed in this order so as to cover the TFT, a common electrode 110 is formed thereon, and furthermore, an interlayer insulating film 111 is formed thereon. A through hole 140 for degassing is formed in the interlayer insulating film 111. A diameter of the through hole 140 is made larger than that of the contact hole 130. Gas from the organic passivation film 109 is released from the through hole 140 for degassing, and thereby the interlayer insulating film 111 is prevented from being separated.
【課題】有機パッシベーション膜の上に形成されたITOによる電極を覆う層間絶縁膜が剥離する現象を防止する。 【解決手段】 トップゲートのTFTには映像信号線と接続するためのコンタクトホール130が形成されている。TFTを覆って、無機パッシベーション膜108、有機パッシベーション膜109がこの順で形成され、その上にコモン電極110が形成され、さらにその上に層間絶縁膜111が形成されている。層間絶縁膜111にはガス抜きのためのスルーホール140が形成されている。スルーホール140の径をコンタクトホール130の径よりも大きくする。ガス抜きのためのスルーホール140から有機パッシベーション膜109からのガスを放出させ、層間絶縁膜111の剥離を防止する。 【選択図】図3

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